臭氧易分解，不穩(wěn)定參比狀態(tài)下臭氧的半衰期為 22~25 分鐘，一個小時的衰退率為 61% ，在 1% 的臭氧水溶液中半衰期約為 16 分鐘，且溫度越高，濕度越大，半衰期越短。臭氧具有很強(qiáng)的氧化能力。
臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應(yīng)有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應(yīng)，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應(yīng)，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧具有不穩(wěn)定性。由于臭氧（O3）是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存形態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣（O2）進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)。所以臭氧工作中沒有二次污染產(chǎn)生，這是臭氧技術(shù)應(yīng)用的大性。

從世界的臭氧技術(shù)產(chǎn)業(yè)來看，以水處理的殺菌凈化為主要市場，而水凈化臭氧裝置包括臭氧源與氣水混合裝置兩部分。臭氧發(fā)生器應(yīng)提供足夠濃度與產(chǎn)量的臭氧，混合裝置以率使臭氧溶解在水中，即達(dá)到一定的臭氧溶解度。因此，一臺好的臭氧發(fā)生器要有優(yōu)良的氣水混合裝置，使臭氧能地和水混合，使水中的臭氧溶解度能滿足完全殺菌。

臭氧在大氣中的含量很少，卻是橡膠龜裂的主要因素，進(jìn)口臭氧老化試驗(yàn)箱用于測試橡膠在臭氧環(huán)境下的損壞程度。臭氧老化箱模擬和強(qiáng)化大氣中的臭氧條件，研究臭氧對橡膠的作用規(guī)律，快速鑒定和評價橡膠抗臭氧老化性能與抗臭氧劑防護(hù)效能的方法，進(jìn)而采取有效的防老化措施，以提高橡膠制品的使用壽命。
紫外線以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達(dá)到照射強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)才有殺菌效果。食品加工車間很高、很大，照射強(qiáng)度與距離平方成反比，強(qiáng)度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴(kuò)散性好，無死角，濃度均勻紫外線殺菌在相對濕度60%以上時效果急劇下降，80%濕度上時反可誘使細(xì)菌復(fù)活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對食品行業(yè)80%－90%高濕環(huán)境特別適合
臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無殘余污染的氣體消毒劑比食品行業(yè)常用的消毒劑（如過氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘余污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規(guī)消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。