臭氧發(fā)生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無(wú)法儲(chǔ)存，需現(xiàn)場(chǎng)制取現(xiàn)場(chǎng)使用（特殊的情況下可進(jìn)行短時(shí)間的儲(chǔ)存），所以凡是能用到臭氧的場(chǎng)所均需使用臭氧發(fā)生器。臭氧發(fā)生器在飲用水，污水，工業(yè)氧化，食品加工和保鮮，醫(yī)藥合成，空間滅菌等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。 臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過(guò)混合裝置和液體混合參與反應(yīng)。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機(jī)用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會(huì)造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進(jìn)水可導(dǎo)致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過(guò)早失效。即使檢測(cè)裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會(huì)沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運(yùn)行之前予以清除。運(yùn)行故障或操作錯(cuò)誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會(huì)造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內(nèi)。

臭氧系統(tǒng)的核心技術(shù)和設(shè)備是發(fā)生器中的放電管，直接影響設(shè)備的運(yùn)行效率和可靠性。臭氧發(fā)生器采用微間隙介質(zhì)阻擋放電設(shè)計(jì)，不僅大大提高了運(yùn)行的效率，而且增加了系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行的安全可靠性。設(shè)備的技術(shù)參數(shù)已經(jīng)達(dá)到國(guó)際水平。 由于采用微間隙放電技術(shù)，使系統(tǒng)運(yùn)行電壓降低為6-8 kV，遠(yuǎn)低于玻璃管絕緣介質(zhì)的耐壓水平，有效地避免了介質(zhì)擊穿短路故障的發(fā)生，提高了運(yùn)行可靠性。 臭氧發(fā)生器放電單元所采用的模塊化設(shè)計(jì)方法，使設(shè)備的安裝，檢修和維護(hù)工作更加容易。在進(jìn)氣氣源質(zhì)量的條件下，臭氧發(fā)生器放電單元連續(xù)運(yùn)行的免維護(hù)時(shí)間可以長(zhǎng)達(dá)5年。

電解式發(fā)生器： 該類(lèi)臭氧發(fā)生器通常是通過(guò)電解純凈水而產(chǎn)生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡(jiǎn)單。但由于有臭氧產(chǎn)量無(wú)法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點(diǎn)，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設(shè)備上或某些特定場(chǎng)所內(nèi)使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
紫外線式臭氧發(fā)生器 ： 該類(lèi)臭氧發(fā)生器是使用特定波長(zhǎng)(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產(chǎn)生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產(chǎn)量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見(jiàn)于消毒碗柜上使用。
電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機(jī)理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術(shù)進(jìn)展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質(zhì))電極與金屬氧化催化技術(shù),使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術(shù)跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專(zhuān)利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽(yáng)極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來(lái)促進(jìn)臭氧氣體的產(chǎn)生。