掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，利用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)從而微觀成像，其成像富有立體感，利用掃描電鏡我們可直接觀察各種樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

掃描電鏡可以研究巖土組成，構(gòu)造和堅(jiān)固性?？捎脕碛^測宇宙塵，隕石及月巖等的形態(tài)特征，構(gòu)造，以便對推斷其成因和認(rèn)識(shí)寧宙提供了有效資料；可以對古微生物化石形態(tài)，排列方式進(jìn)行研究，對測定地質(zhì)年代及地層形成古地理環(huán)境等提供數(shù)據(jù)。

通過表面處理（例如沉積出不同組成，形態(tài)及厚度的膜層以及光刻蝕表面等等）可以有效地提高材料硬度和光學(xué)物理性能。通過掃描電鏡可以對鍍膜表面形貌，斷口膜層形貌進(jìn)行觀察，并對膜厚進(jìn)行測量；可以觀察到光刻蝕之后試樣表面形貌變化情況等等。

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