Inlens 探測器均放置 在鏡筒內正光軸上, 在減少重新校準耗時 的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。 Gemini 電子束推進器技術可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外, 它確保了電子束在鏡筒中運動時始 終保持高加速電壓, 直至出鏡筒后才減速 至設定電壓, 更大程度地減小外部雜散磁 場對系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應用了 Gemini 設計、 Inlens 探測器和電子 束推進器技術。
分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下, 電子束色差降低, 從而實現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺減速技術模式下, 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢 測效率。
背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下,可提供 樣品材質成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射, 被 Gemini 鏡筒電子束推進器吸入后射 到鏡筒內。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量,它們會在電 子束推進器內產(chǎn)生不同軌跡。
在工業(yè)質量、失效分析或研究環(huán)境中,由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息,所以它
是金相學和失效分析應用的理想之選。
專為日常檢測和分析應用而設計,蔡司 EVO 擁有的操作 設計理念,無論是經(jīng)驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色 的數(shù)據(jù),特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導電層的非
導電零部件。
產(chǎn)品應用領域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結構分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結構表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫(yī)療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。
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