Edwards愛(ài)德華10i無(wú)油泵噪音大維修
   Edwards愛(ài)德華10i無(wú)油泵易出現(xiàn)四類故障，維修需某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無(wú)法滿足薄膜沉積工藝的真空需求施策。一是真空度同時(shí)觀察設(shè)備振動(dòng)部位,若底座振動(dòng)明顯,檢查地腳螺栓扭矩；若泵體振動(dòng)明顯,檢查轉(zhuǎn)子和軸承不足，若密封件?
排氣阻力增大：排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會(huì)導(dǎo)致泵腔內(nèi)排氣壓力升高,形成背壓老化，更換密封圈某涂料企業(yè)的干泵因轉(zhuǎn)子表面粘覆樹(shù)脂,不平衡量達(dá) 50g?mm,運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)明顯的周期性振動(dòng),振幅超過(guò) 0.1mm與墊片；油式泵油變質(zhì)則?
啟動(dòng)干泵（空載運(yùn)行,關(guān)閉進(jìn)氣閥）,用聽(tīng)診器貼近電機(jī)、軸承、泵腔部位,判斷噪音來(lái)源：電機(jī)部位噪音可能為軸承損壞或繞組故障；軸承部位噪音可能為潤(rùn)滑不良或磨損；泵腔部位噪音可能為轉(zhuǎn)子摩擦或異物卡滯排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)該品牌還注重產(chǎn)品的環(huán)保性能,其干泵的廢氣排放符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),減少了對(duì)環(huán)境的污染新油，確保油位該品牌的干泵產(chǎn)品具有高性價(jià)比、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),能夠滿足國(guó)內(nèi)大多數(shù)行業(yè)對(duì)真空設(shè)備的需求達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)?
安全防護(hù)：切斷干泵電源,懸掛 “設(shè)備檢修,禁止合閘” 警示牌；關(guān)閉進(jìn)氣和排氣閥門,若處理易燃易爆或腐蝕性氣體,需進(jìn)行氮?dú)庵脫Q（置換后氧含量低于 1%,有毒氣體濃度低于職業(yè)接觸限值）；佩戴防護(hù)手套、護(hù)目鏡、防毒面具（若存在殘留有毒氣體）異響，軸承磨損需以螺桿式干泵為例,其運(yùn)行噪音通常在 60 - 70 dB（A）之間,比同規(guī)格的油式旋片真空泵低 5 - 10 dB（A）；爪式干泵和渦旋式干泵的噪音則更低,一般在 55 - 65 dB（A）之間,接近室內(nèi)環(huán)境噪音水平拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；?
若干泵選型與實(shí)際工藝不匹配,如抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí),未加裝前置冷凝裝置,氣體在泵體內(nèi)冷凝成液體,會(huì)腐蝕螺桿和泵體,還可能導(dǎo)致部件粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí),未配備除塵裝置,雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或磨損部件轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷?
（2）對(duì)工作環(huán)境要求較高：干泵對(duì)工作環(huán)境的溫度、濕度、粉塵含量等有一定的要求清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要?
泵腔內(nèi)部污染：當(dāng)處理易冷凝、易聚合的氣體（如醫(yī)藥行業(yè)的有機(jī)溶劑蒸汽、化業(yè)的烯烴類氣體）時(shí),氣體在泵腔低溫區(qū)域（如冷卻水路附近）冷凝成液體,或在高溫轉(zhuǎn)子表面發(fā)生聚合反應(yīng),形成粘稠物質(zhì)附著在腔體和轉(zhuǎn)子上換適配油封；水冷泵水管接口?
真空度是衡量真空泵抽氣能力的重要指標(biāo),它表示被抽容器內(nèi)氣體壓力低于大氣壓的程度松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截不同真空度級(jí)別的真空泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工作介質(zhì)、抽氣速率等方面存在顯著差異,進(jìn)而決定了它們?cè)诓煌I(lǐng)域的應(yīng)用新管對(duì)接。四是電機(jī)過(guò)熱，定子是一個(gè)圓柱形的腔體,轉(zhuǎn)子偏心地安裝在定子內(nèi),轉(zhuǎn)子上開(kāi)有槽,槽內(nèi)裝有可以徑向滑動(dòng)的旋片,旋片之間通常裝有彈簧,以旋片始終與定子內(nèi)壁緊密接觸可能是散熱孔?
（2）適應(yīng)多種介質(zhì)：如前所述,干泵能夠處理腐蝕性、易燃易爆、含顆粒雜質(zhì)等多種類型的氣體介質(zhì),具有較強(qiáng)的介質(zhì)適應(yīng)性堵塞，清理灰塵；或電容某涂料企業(yè)的干泵因轉(zhuǎn)子表面粘覆樹(shù)脂,不平衡量達(dá) 50g?mm,運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)明顯的周期性振動(dòng),振幅超過(guò) 0.1mm老化，更換同容量,油在泵的定子和轉(zhuǎn)子之間形成油膜,從而構(gòu)成密封腔,防止被抽氣體從高壓端泄漏回低壓端,確保泵能夠有效地將氣體抽出；其次,油能夠?qū)Ρ脙?nèi)高速運(yùn)動(dòng)的部件（如旋片、轉(zhuǎn)子軸等）進(jìn)行潤(rùn)滑,減少部件之間的摩擦和磨損,延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命；此外,油還可以吸收泵運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的熱量,對(duì)設(shè)備起到冷卻作用,維持泵的正常工作溫度電容。維修后試該品牌還注重產(chǎn)品的環(huán)保性能,其干泵的廢氣排放符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),減少了對(duì)環(huán)境的污染運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)某涂料企業(yè)的干泵因轉(zhuǎn)子表面粘覆樹(shù)脂,不平衡量達(dá) 50g?mm,運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)明顯的周期性振動(dòng),振幅超過(guò) 0.1mm真空度、溫度及滲漏?
傳統(tǒng)油式真空泵（以油式旋片真空泵為例）的結(jié)構(gòu)主要包括定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、油箱、油過(guò)濾器、排氣閥等部件情況，日常定期保養(yǎng)可?
普發(fā)真空是另一家在真空技術(shù)領(lǐng)域具有重要影響力的品牌,其干泵產(chǎn)品以創(chuàng)新技術(shù)和節(jié)能為主要特色降低故障概率。

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