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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地，作為集成電路基礎材料的硅單晶生產也在不斷地提高其技術質量指標和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應地，生產投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進步的，這是單晶爐和拉晶工藝。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，周期式電阻爐的分類A． 箱式爐 B． 臺車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移） E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。
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電控系統(tǒng)采用微機控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點：溫度自動控制系統(tǒng)\電機調速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動控制系統(tǒng)\單晶熔體自動跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長度顯示功能\各拉晶有關參數(shù)包括籽晶軸，坩堝軸的轉動速度，晶升和堝升速度，爐內壓力，冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示，兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速，能穩(wěn)定的控制生長直徑5～8英寸，直徑均勻的無錯位單晶。采用軟籽晶軸，具有特的晶體提升機構。的磁流體密封技術，新型翻板閥結構，拱形封頭式爐蓋結構，考慮熱變形采用浮動提升結構，防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸，電控系統(tǒng)采用微機控制，紅外測徑技術，進口電動及驅動器，保生長大扭矩高穩(wěn)定性。
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