材料處理:微波等離子體源可用于表面處理、薄膜沉積和蝕刻工藝。它們可以幫助在各種材料上沉積薄膜,或改變材料的表面特性。
電子器件制造:ECR等離子體源在半導體工業(yè)中,微波等離子體源可用于清潔晶圓、蝕刻硅片和沉積薄膜層。其結(jié)構(gòu)小巧,可以多個等離子體源組成等離子墻,或者不同形狀以使之便于不同情況的工程應用。
SAIREM微波等離子體源可以用于藥材提純的過程。微波加熱可以提高藥材的溫度并加速化學反應,從而實現(xiàn)藥材的快速提純。SAIREM微波源具有穩(wěn)定的性能和高功率輸出,可確保藥材提純過程的性和可靠性。通過調(diào)節(jié)微波功率和加熱時間,可以控制藥材提純的過程,使其達到理想的純度要求。這使得SAIREM微波源在藥材提純領域具有廣泛的應用前景。
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