Gemini 2 型電子光學(xué)鏡筒讓 GeminiSEM 460 成為高束流下獲取高分辨率成像和快速 分析的理想之選。另外，它還集上一代 Gemini 光學(xué)系統(tǒng)的所有優(yōu)勢于一身。例如， 確保了大視野范圍內(nèi)的無畸變 EBSD 分析和 高分辨率成像的物鏡無漏磁設(shè)計。
因此您也能夠在不影響電子光學(xué)性能的前 提下傾斜樣品， 甚至還能輕松完成磁性樣 品成像。
Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達到高分 辨率。它由兩個協(xié)同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場及磁場分布， 獲得出色的信號 探測效率， 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說， 與標(biāo)準的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進行 1kV 以下亞納米成像， 而無需將樣品浸沒在電磁場中。
? 通過 Nano-twin 物鏡實現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過新的大視野概覽模式實現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無縫過渡
? 通過新的自動聚焦功能和新的快速鏡筒對 中算法實現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。
背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下，可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會在電 子束推進器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。
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