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一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術(shù)：目前，大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法，通常是生產(chǎn)完一爐后，等單晶爐冷卻后，再往主爐室坩堝內(nèi)裝料，進(jìn)行下一次生產(chǎn)，這樣既浪費(fèi)了時(shí)間，又造成了熱量的流失，且在拉晶棒的過(guò)程中，不能進(jìn)行補(bǔ)料操作，在拉晶棒的后期階段，會(huì)因?yàn)楣枇现心承┰氐膿]發(fā)而影響晶棒后半部分的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種連續(xù)拉晶單晶爐，它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，減少了冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，也減少了熱量的流失。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅(qū)動(dòng)裝置和上驅(qū)動(dòng)裝置，所述主爐室和下驅(qū)動(dòng)裝置均安裝在底座上，藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時(shí)效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長(zhǎng)期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn),采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運(yùn)行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強(qiáng)的實(shí)用性和經(jīng)濟(jì)推廣價(jià)值。1離線裝料的工作原理使用一個(gè)真空吸盤(pán)和一個(gè)特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,

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直拉硅單晶熱場(chǎng)加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場(chǎng)及加熱器簡(jiǎn)介直拉硅單晶爐的熱場(chǎng)是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長(zhǎng)的整個(gè)溫度場(chǎng)系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤(pán)、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場(chǎng)溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。

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