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因此，在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時，還用真空泵將混合氣體排出爐外；在排氣時，混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處，后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大，尤其是坩堝 支持器下方的空間較大，導致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出， 熱能消耗量較大；另外，現(xiàn)有技術中，從輸入管向爐內(nèi)充入時， 充氣氣壓為1. 3x 103pa，流量為40L/min,因此其消耗量大，生產(chǎn) 成本較高。
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本文從晶體生長物理基礎和流體力學的基本理論出發(fā),結(jié)合硅單晶制備過程中熱質(zhì)輸運的分析,采用實驗和數(shù)值分析相結(jié)合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對象,研究熱場結(jié)構(gòu)、控制參數(shù)和外加磁場對大直徑硅單晶生長的影響。通過數(shù)值分析的手段,研究了結(jié)構(gòu)參數(shù)和控制參數(shù)對晶體生長特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場制備出400mm和45 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，2011年度，相關部門推出了一系列的激勵政策，包括2011年度的金太陽項目，太陽能光電建筑應用示范工程，以及光伏上網(wǎng)電價等。這些政策的出臺和實施，對光伏產(chǎn)業(yè)起到了很好的推動作用。在能源科技“十二五”規(guī)劃中，明確劃分了4個技術領域：勘探與開采技術、加工與轉(zhuǎn)化技術、發(fā)電與輸配電技術和新能源技術。提到2020年，光伏發(fā)電成本降低到與常規(guī)電力相當?shù)哪繕?，充分體現(xiàn)了實現(xiàn)由能源大國向能源強國轉(zhuǎn)變、促進光伏應用發(fā)展的決心。而能源局公布的“十二五”可再生能源目標，提出到2015年光伏發(fā)電將達到15GW，發(fā)電量200億千瓦時。核心提示：《規(guī)劃》明確了七大領域的發(fā)展方向，制定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，提出了各領域發(fā)展的標志性目標、提升整體創(chuàng)新能力與拓展市場應用等創(chuàng)新發(fā)展重大行動計劃、主要政策措施，力圖為產(chǎn)業(yè)發(fā)展指出更加清晰的發(fā)展方向。
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