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穿過所疼氣流導向裝置(20) 的中軸孔(2-1)，該爐的一對電極柱(15)分別穿過所述電極孔(2-2)， 該爐的排氣口 (13)與氣流導向裝置(20)的各通氣孔(2-3)相連通，氣 流導向裝置(20)的上端部(2-4)設于該爐的保溫筒(17)與發(fā)熱體(16) 之間。3、 根據(jù)權利要求2所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導向裝置(20)的中軸孔(2-1)與該爐的石墨中軸(21)活動密封連接。4、 根據(jù)權利要求2或3所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述 氣流導向裝置(20 )的電極孔(2-2 )分別與該爐的電極柱(15 )密封連接。5、 藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，從除塵區(qū)域經(jīng)上盤12 個圓孔進入排氣區(qū)域(排氣筒) 的棄塵氣流終由排氣口排出除塵器。上面主要論述了這種混合式除塵器的除塵機理和過程。值得提出的是，出于某些因素的考慮例如體積小、結構簡單、經(jīng)濟性等等，該除塵器略去了排塵區(qū)域。所以，應該經(jīng)常性拆卸進行清灰工作。下面給出這種除塵器的主要技術參數(shù)：圓柱容器高度H = 900mm; 內徑= á 270mm; 進氣口軸線偏離圓柱容器線e= 85mm; 進氣口與排氣口通徑均為á 89mm。內、外層金屬網(wǎng)均采用50 目的不銹鋼絲網(wǎng)。順便提一下，在很多情況下，用戶拆去全部金屬桿和金屬網(wǎng)，僅以離心力作為主要除塵機理便滿足了單晶爐真空系統(tǒng)的除塵要求。
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進一步為了避免下驅動裝置受到外界震動的影響，進而保下驅動裝置的工作精，所述底座和下驅動裝置之間設置有減震裝置，所述下驅動裝置的底端設置有承載板，所述承載板通過少兩個螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對應的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬浚鱿聹p震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅動裝置受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬浚宜錾蠝p震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎佑绊懙匠休d板。
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