材料處理：微波等離子體源可用于表面處理、薄膜沉積和蝕刻工藝。它們可以幫助在各種材料上沉積薄膜，或改變材料的表面特性。
電子器件制造：ECR等離子體源在半導體工業(yè)中，微波等離子體源可用于清潔晶圓、蝕刻硅片和沉積薄膜層。其結構小巧，可以多個等離子體源組成等離子墻，或者不同形狀以使之便于不同情況的工程應用。
Sairem 微波等離子體源可用于化工污染處理。它利用微波能量來加熱和處理化工廢物，例如污水、有機廢物或化學廢料。這種技術可以有效地降解有害物質(zhì)，提高處理效率，并減少對環(huán)境的影響
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單腔ECR等離子體源電化學
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