特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達(dá)到class1000#前提下，實驗室內(nèi)能有效過濾微塵而達(dá)到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

一般的電熱（鼓風(fēng)）無塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個指標(biāo)也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內(nèi)腔灰塵，保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風(fēng)機(jī)運轉(zhuǎn)是否正常，有無異常聲音，如有立即關(guān)閉機(jī)器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風(fēng)機(jī)運轉(zhuǎn)是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準(zhǔn)確，如不準(zhǔn)確，請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準(zhǔn)確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計)。

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認(rèn)電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內(nèi)
(3)開啟電源開關(guān)并調(diào)整溫控儀表適當(dāng)溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風(fēng)開關(guān)，開啟加熱開關(guān)，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護(hù)器具
(2)操作人員嚴(yán)禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車烘箱各緊固件是否松動，開機(jī)操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過3cm，合上電源總開關(guān)，電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕，風(fēng)機(jī)運轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機(jī)從電機(jī)端看進(jìn)去應(yīng)為逆時針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當(dāng)烤箱內(nèi)部氣流流動時，熱量會被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內(nèi)，熱量會被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內(nèi)部，使整個材料得到均勻的加熱同時，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現(xiàn)象，從而大大減少煙塵的排放。