石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時，之后進(jìn)行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進(jìn)行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強(qiáng)，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點(diǎn)做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱是一種廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中的設(shè)備，主要原理是利用強(qiáng)制循環(huán)的熱風(fēng)將物料表面和內(nèi)部的水分蒸發(fā)，從而達(dá)到烘干的目的。該設(shè)備通常由箱體、加熱系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。加熱系統(tǒng)可以采用電加熱、液體燃料或者天然氣等不同的熱源，通風(fēng)系統(tǒng)則通過過濾器使空氣與物料接觸更加均勻。在工作時，物料被放置于烘箱中，通風(fēng)系統(tǒng)通過過濾器吸入空氣，經(jīng)過加熱后形成熱風(fēng)并強(qiáng)制循環(huán)，這樣熱風(fēng)就能夠充分地接觸物料表面和內(nèi)部的濕氣，使?jié)駳庹舭l(fā)出去。在循環(huán)的過程中，熱風(fēng)也會帶走一些揮發(fā)性物質(zhì)，使物料表面更為干燥。

石墨舟的維護(hù)主要包括以下幾個方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進(jìn)行擦拭。烘干石墨舟時，應(yīng)將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會發(fā)生損壞，因此需要定期檢查。檢查時，應(yīng)檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發(fā)現(xiàn)損壞，應(yīng)及時維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應(yīng)存放在干燥、清潔的環(huán)境中。存儲時，應(yīng)將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進(jìn)行保護(hù)。

石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對于確保其正常運(yùn)行和延長使用壽命至關(guān)重要。

石墨舟就是石墨模具石墨模具本身是一種載體，可以把我們需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫?zé)Y(jié)成型。石墨模具是選用人造石墨經(jīng)機(jī)械加工而成的。所以石墨模具有時成為石墨舟，也有稱為石墨船的。

一般的干燥箱外殼都是采用冷軋鋼板制造，但是從厚度上將，差別卻很大。由于真空干燥箱里面的真空環(huán)境，為防止大氣壓壓壞箱體，其外殼厚度要較鼓風(fēng)干燥箱大些許，一般是選擇鋼板越厚質(zhì)量越好，使用壽命也越長。為便于觀察，在干燥箱的箱門都設(shè)有玻璃窗，一般有鋼化玻璃和鑲嵌門上的普通玻璃，武漢尚測生產(chǎn)干燥箱箱門全部采用鋼化玻璃，雖價格稍貴，但是外觀漂亮，對于操作人員的安全更是有力的保障。由外及里，干燥箱的內(nèi)膽有兩種選擇，一是鍍鋅板，二是鏡面不銹鋼。鍍鋅板在長期使用過程中容易生銹，不利于保養(yǎng)；鏡面不銹鋼外觀整潔，易于保養(yǎng)，使用壽命長，屬市場上次的內(nèi)膽材質(zhì)，但是價格要稍鍍鋅板。內(nèi)膽的樣品架子一般有兩層，可根據(jù)客戶的要求增添。由于樣品架的質(zhì)量是由不銹鋼壓制而成，且多增加的架子不利于內(nèi)部熱風(fēng)的循環(huán)，加大風(fēng)機(jī)的質(zhì)量要求，所以每加一個架子的成本在三百元之間。