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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。

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并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；當(dāng)不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7，進(jìn)而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進(jìn)行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術(shù)：目前，大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法，通常是生產(chǎn)完一爐后，等單晶爐冷卻后，再往主爐室坩堝內(nèi)裝料，進(jìn)行下一次生產(chǎn)，這樣既浪費(fèi)了時間，又造成了熱量的流失，且在拉晶棒的過程中，不能進(jìn)行補(bǔ)料操作，在拉晶棒的后期階段，會因?yàn)楣枇现心承┰氐膿]發(fā)而影響晶棒后半部分的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種連續(xù)拉晶單晶爐，它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，減少了冷卻、拆爐、裝爐的時間，提高了生產(chǎn)效率，也減少了熱量的流失。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅(qū)動裝置和上驅(qū)動裝置，所述主爐室和下驅(qū)動裝置均安裝在底座上，