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半導(dǎo)體級直拉法的工藝控制\進入21世紀(jì)以來,隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會在相當(dāng)長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進行生長,終形成的。一般會采用直拉法進行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對熱場的設(shè)計,工藝的過程控制,減少位錯的產(chǎn)生,以及通過化學(xué)腐蝕對位錯進行檢測的相關(guān)問題。

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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設(shè)計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。