電子行業(yè)芯片清洗 0.5 噸反滲透純化水設(shè)備
在電子行業(yè)，特別是芯片制造領(lǐng)域，芯片清洗是一個至關(guān)重要的環(huán)節(jié)，其對水質(zhì)的要求達(dá)到了的標(biāo)準(zhǔn)。0.5 噸反滲透純化水設(shè)備在這一過程中發(fā)揮著不可或缺的作用，為芯片的生產(chǎn)提供了純凈、可靠的水源保障。
原水預(yù)處理
原水通常取自自來水或其他水源，首入原水箱。原水箱不僅起到儲存原水的作用，還能對原水的流量和壓力進(jìn)行緩沖和穩(wěn)壓，確保后續(xù)處理過程中進(jìn)水的穩(wěn)定性，避免因原水供應(yīng)的波動對設(shè)備造成不良影響，整個系統(tǒng)的平穩(wěn)運行。
從原水箱出來的水經(jīng)原水泵加壓后，進(jìn)入多介質(zhì)過濾器。多介質(zhì)過濾器內(nèi)部填充有石英砂、無煙煤等不同粒徑的濾料，通過層層物理截留作用，能夠有效去除水中的懸浮物、膠體等較大顆粒的雜質(zhì)，降低水的濁度。這一步驟至關(guān)重要，因為水中的這些懸浮物質(zhì)如果進(jìn)入后續(xù)的精密處理環(huán)節(jié)，可能會堵塞設(shè)備部件，影響設(shè)備的正常運行和使用壽命，同時也為后續(xù)的深度凈化創(chuàng)造良好的進(jìn)水條件。
接著，水流向活性炭過濾器?；钚蕴烤哂胸S富的孔隙結(jié)構(gòu)和強(qiáng)大的吸附能力，能夠吸附水中的余氯、有機(jī)物、部分重金屬離子以及異味物質(zhì)。在芯片制造過程中，余氯具有強(qiáng)氧化性，會對芯片表面及后續(xù)的反滲透膜等部件造成嚴(yán)重的氧化損傷，而有機(jī)物和重金屬離子的存在可能會導(dǎo)致芯片短路、性能下降等問題。通過活性炭過濾，可顯著凈化水質(zhì)，減少水中的污染物，降低水的化學(xué)需氧量（COD），為后續(xù)的處理單元提供更清潔、安全的進(jìn)水。
之后，水進(jìn)入軟化器。軟化器內(nèi)的陽離子交換樹脂與水中的鈣、鎂等硬度離子發(fā)生交換反應(yīng)，去除水中的大部分硬度。硬水中的鈣鎂離子在后續(xù)的加熱和管道輸送過程中容易形成水垢，不僅會降低熱傳遞效率，影響設(shè)備的能源利用率，還可能導(dǎo)致管道堵塞和設(shè)備故障。對于芯片清洗來說，水中的硬度離子可能會在芯片表面殘留，影響芯片的電學(xué)性能和可靠性。因此，軟化處理能夠有效避免這些問題，確保設(shè)備的穩(wěn)定運行和芯片的清洗質(zhì)量。
反滲透處理
經(jīng)過預(yù)處理的水進(jìn)入反滲透系統(tǒng)，這是整個純化水設(shè)備的核心環(huán)節(jié)。在高壓泵的作用下，水被施加足夠的壓力，克服滲透壓通過反滲透膜。反滲透膜的孔徑極小，能夠地截留水中的溶解性固體（如鹽類）、細(xì)菌、病毒、膠體、大分子有機(jī)物等雜質(zhì)，其脫鹽率通常可達(dá) 95% - 99% 以上，從而獲得純度較高的淡水，而濃水則被排出系統(tǒng)。對于 0.5 噸的設(shè)備，會根據(jù)芯片清洗的實際需求，合理配置反滲透膜組件的數(shù)量和規(guī)格，以產(chǎn)水的質(zhì)量和產(chǎn)量滿足生產(chǎn)要求。
離子交換精制
盡管反滲透過程能夠去除大部分離子，但為了進(jìn)一步提高水的純度，滿足芯片清洗對極低離子含量的要求，反滲透產(chǎn)水會進(jìn)入離子交換系統(tǒng)。該系統(tǒng)通常采用混床離子交換樹脂，其中陰陽離子交換樹脂按特定比例均勻混合裝填。陽離子交換樹脂將水中殘留的陽離子（如鈉離子、氫離子等）置換為氫離子，陰離子交換樹脂則把水中的陰離子（如氯離子、等）置換為氫氧根離子，氫離子和氫氧根離子結(jié)合生成水分子，從而將水中的離子含量降低到極低水平，使水的電阻率顯著提高，達(dá)到芯片清洗所需的高純度標(biāo)準(zhǔn)，確保水的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定且純凈，避免因水中雜質(zhì)離子與芯片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，影響芯片的性能和良品率。
超濾與微濾
為了去除水中可能殘留的微小顆粒、膠體、細(xì)菌和部分病毒等雜質(zhì)，在離子交換之后設(shè)置超濾和微濾單元。超濾膜的孔徑一般在 0.001 - 0.1 微米之間，能夠有效截留大分子物質(zhì)和微生物，同時允許小分子物質(zhì)和離子通過，進(jìn)一步保障了水的純度和微生物安全性。微濾則主要用于去除更微小的顆粒，進(jìn)一步提高水的清澈度，其孔徑通常在 0.1 - 10 微米之間。通過超濾和微濾的雙重保障，確保進(jìn)入芯片清洗環(huán)節(jié)的水完全符合質(zhì)量要求，避免任何微小雜質(zhì)對芯片造成損害，芯片的電學(xué)性能和可靠性，提高芯片的良品率和生產(chǎn)效率。
消毒與殺菌
在電子芯片制造過程中，微生物的控制極其重要。即使是微量的微生物污染，也可能導(dǎo)致芯片短路、失效等嚴(yán)重問題。因此，消毒殺菌環(huán)節(jié)不可或缺。常見的消毒方法包括紫外線消毒、臭氧消毒或化學(xué)消毒（如添加過氧化氫等消毒劑）。紫外線消毒利用紫外線的殺菌作用破壞微生物的 DNA 結(jié)構(gòu)，使其失去繁殖能力；臭氧消毒通過其強(qiáng)氧化性殺滅水中的細(xì)菌、病毒和真菌等微生物，同時還能分解水中的有機(jī)物；化學(xué)消毒劑則能在一定濃度下有效抑制微生物的生長，確保純化水在儲存和使用過程中的微生物安全性，防止微生物污染對芯片清洗和芯片質(zhì)量造成危害。
儲存與分配系統(tǒng)
經(jīng)過處理后的純化水進(jìn)入儲存罐，儲存罐通常采用 316L 不銹鋼材質(zhì)制作，具有良好的耐腐蝕性和衛(wèi)生性，能夠防止水質(zhì)受到二次污染。儲存罐內(nèi)設(shè)置有呼吸器和噴淋球，呼吸器可防止外界空氣直接進(jìn)入罐內(nèi)污染水質(zhì)，噴淋球用于定期對罐內(nèi)進(jìn)行清洗和消毒，確保純化水在儲存過程中的質(zhì)量穩(wěn)定。
從儲存罐出來的純化水通過衛(wèi)生級管道組成的分配系統(tǒng)輸送至芯片清洗設(shè)備。分配系統(tǒng)采用循環(huán)供水方式，確保各個使用點的水始終處于流動狀態(tài)，避免死水滋生細(xì)菌，同時在管道上設(shè)置有在線水質(zhì)監(jiān)測儀表和取樣點，以便實時監(jiān)測水質(zhì)和定期進(jìn)行水質(zhì)檢測，芯片清洗過程中使用的純化水始終符合標(biāo)準(zhǔn)，為芯片的生產(chǎn)提供堅實的保障，推動電子行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和發(fā)展。
0.5 噸反滲透純化水設(shè)備通過以上一系列精細(xì)的工藝過程，嚴(yán)格控制水質(zhì)的各項參數(shù)，為電子行業(yè)芯片清洗提供了高純度、無雜質(zhì)、無菌的水源，滿足了芯片制造對水質(zhì)的嚴(yán)苛要求，有助于提高芯片的良品率和性能，增強(qiáng)電子企業(yè)在市場上的競爭力，為電子信息技術(shù)的快速發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ)。