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提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒：包括取光孔\下爐筒：包括抽真空管道\底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座\坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成\分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等\管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線

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采用了上述技術(shù)方案后，本發(fā)明具有以下有益效果：、取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝，蓋上外部加料器的上蓋，將外部加料器真空抽到合適壓力值時(shí)打開旋閥，硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝，當(dāng)外部化料器中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥，把外部加料器充常壓，打開外部加料器的上蓋繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進(jìn)而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率；、