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排氣筒與排氣口相通。上盤的幾個圓孔是除塵區(qū)域和排氣區(qū)域通道。含塵氣流未從上盤12 個圓孔排出去之前，實際的氣流運動是很復雜的。除切向和軸向運動外還有徑向運動。這樣含塵氣流會反復經過金屬網(支撐內、外層金屬網的金屬桿相互錯列，很明顯能夠增加氣流穿過金屬網的次數(shù))。前文已詳細論過除塵機理,很容易看出慣性碰撞、接觸阻留、篩濾作用、擴散在這時將成為除塵的主要作用力。塵粒與氣流分離界面是內、外兩層金屬網(包括上盤在內)。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，電控系統(tǒng)采用微機控制，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點：溫度自動控制系統(tǒng)\電機調速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動控制系統(tǒng)\單晶熔體自動跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長度顯示功能\各拉晶有關參數(shù)包括籽晶軸，坩堝軸的轉動速度，晶升和堝升速度，爐內壓力，冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示，兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速，能穩(wěn)定的控制生長直徑5～8英寸，直徑均勻的無錯位單晶。采用軟籽晶軸，具有特的晶體提升機構。的磁流體密封技術，新型翻板閥結構，拱形封頭式爐蓋結構，考慮熱變形采用浮動提升結構，防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸，電控系統(tǒng)采用微機控制，紅外測徑技術，進口電動及驅動器，保生長大扭矩高穩(wěn)定性。

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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表，生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產品早在80年代初進入市場，已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。