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單晶爐簡(jiǎn)介編輯/單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。購(gòu)買技術(shù)主要要求1.單晶爐裝料量(單臺(tái)機(jī)產(chǎn)能多少) 2. 能拉多長(zhǎng)、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度) 5設(shè)備制造工藝控制保 6自動(dòng)化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進(jìn)一步為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響,進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置的工作精,所述底座和下驅(qū)動(dòng)裝置之間設(shè)置有減震裝置,所述下驅(qū)動(dòng)裝置的底端設(shè)置有承載板,所述承載板通過(guò)少兩個(gè)螺釘固定連接在底座上,所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對(duì)應(yīng)的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊,所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬浚鱿聹p震橡膠墊的底部和底座抵接,所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接,以便于通過(guò)下橡膠減震墊吸收從外界傳來(lái)的震動(dòng),以避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響,所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?,且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接,以避免螺釘?shù)恼饎?dòng)影響到承載板。

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所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動(dòng)密封連接,以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣,影 響排氣效果,氣流導(dǎo)向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接,以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接,以防止因氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣,影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過(guò)通 氣管19相連通,以提高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20由石墨制成,石墨具有強(qiáng)度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機(jī)加工等優(yōu)點(diǎn)。