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直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專(zhuān)利名稱(chēng)：直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護(hù)盤(pán)、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過(guò)程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，周期式電阻爐的分類(lèi)A． 箱式爐 B． 臺(tái)車(chē)爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移）　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉(zhuǎn)筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱(chēng)為多用爐，可進(jìn)行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。

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流量計(jì)的在此用途10.熱電堆的作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))11.紅外測(cè)溫儀作用原理輸入輸出包括依兒根(好壞如何檢測(cè))12.各密封處的檢測(cè)方式13.電動(dòng)球閥的原理作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))14.各水管的來(lái)去向15.對(duì)中等的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)了解各部件的連線方式以及去向///三部分爐體(下部)1.水壓表的作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))2.電機(jī)作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))3.編碼器,減速器,離合器作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))4.手動(dòng)機(jī)構(gòu)作用原理輸入輸出(好壞如何檢測(cè))