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為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置更好地驅(qū)動(dòng)導(dǎo)料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,所述導(dǎo)流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設(shè)置,所述支撐桿191和導(dǎo)流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強(qiáng)外部化料器7的穩(wěn)固性,所述連接塊194少設(shè)置有兩個(gè)。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料,所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。
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使肩部近似直角;然后,進(jìn)入等徑工藝,通過控制熱場(chǎng)溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時(shí),再將晶體逐漸縮小而形成一個(gè)尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個(gè)單晶拉制過程基本完成,進(jìn)行一定的保溫冷卻后可以取出。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月,其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設(shè)備,設(shè)備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分別為60kg、150kg、300kg,400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖(來自產(chǎn)品樣本)近年來,國產(chǎn)單晶硅生長爐設(shè)備行業(yè)發(fā)展迅速,已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。,國內(nèi)單晶硅生長爐設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)進(jìn)步明顯,逐步解決了單晶硅生長爐的關(guān)鍵技術(shù)難題,可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。