深圳GSI鉭鈮礦檢測(cè)技術(shù)有限公司擁有大型的實(shí)驗(yàn)室，配備精良的測(cè)試儀器，與華南地區(qū)各實(shí)驗(yàn)室存在廣泛的合作關(guān)系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測(cè)認(rèn)證通道；幫助客戶減少開(kāi)發(fā)風(fēng)險(xiǎn)、縮短產(chǎn)品研發(fā)周期、降低產(chǎn)品成本；及時(shí)獲得各國(guó)市場(chǎng)的準(zhǔn)入證。

深圳鉭鈮礦化驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室／檢測(cè)中心秉承：管理科學(xué)，公平公正；操作規(guī)范，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確；安全保密，廉潔自律的質(zhì)量方針和第三方公正實(shí)驗(yàn)室的職業(yè)道德，熱誠(chéng)為國(guó)內(nèi)客戶提供標(biāo)準(zhǔn)、檢測(cè)、認(rèn)證工作的服務(wù)。

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利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備氮化鉭薄膜，對(duì)磁控反應(yīng)濺射制備氮化鉭薄膜的工藝參數(shù)（包括氮分壓比、加熱溫度、濺射壓力、濺射電流）用正交設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化

氮化鉭為黑色六方結(jié)晶。相對(duì)密度為13.4，熔點(diǎn)為3090℃，顯微硬度為1100kg/mm2，熱導(dǎo)率為9.54W/(m·K)，電阻率為128μΩ·cm

氮化鉭靶材合成
1、將金屬鉭粉用氮?dú)饣虬睔庠?100℃左右直接氮化制得；
2、以金屬鉭和氮?dú)鉃樵现苽涞g，反應(yīng)式如下：2Ta+N2=2TaN。