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德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月,其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設備,設備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分別為60kg、150kg、300kg,400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖(來自產(chǎn)品樣本)近年來,國產(chǎn)單晶硅生長爐設備行業(yè)發(fā)展迅速,已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。,國內(nèi)單晶硅生長爐設備領域技術進步明顯,逐步解決了單晶硅生長爐的關鍵技術難題,可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴格的靜平衡和動平衡測試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm,適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計,確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間,可在熱場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。

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單晶爐構(gòu)成編輯=提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成/副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成/ 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒:包括取光孔下爐筒:包括抽真空管道/底座機架:全鑄鐵機架和底座/坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成/分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等/管道布置:質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等/電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
標簽:提拉式長晶爐回收
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