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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表，生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進(jìn)的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場，已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計算機(jī)實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔與該爐的石墨中軸活動密封連接，以防止 因該中軸孔與石墨中軸之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的電極孔分別與該爐的電極柱密封連接，以防止因 該電極孔與電極柱之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒密封連接，以防止 因氣流導(dǎo)向裝置的上端部的外壁與該爐的保溫筒之間的間隙而漏氣，影響 排氣效果所述氣流導(dǎo)向裝置各通氣孔與該爐的排氣口通過通氣管相連通，以提 高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置由石墨制成，石墨具有強(qiáng)度高、抗熱震性好、耐高 溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機(jī)加工等優(yōu)點。本發(fā)明具有積極的效果(1)分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場試驗,采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強(qiáng)的實用性和經(jīng)濟(jì)推廣價值。1離線裝料的工作原理使用一個真空吸盤和一個特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,