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抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏，應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，查找真空泵及閥門看哪里出現泄漏，或是擴散泵油污染或氧化；或前級管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，軸封漏油等。漏--分內漏和外漏，較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。查找小漏和微漏：利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了--也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。好是反復幾次，確認漏點。內漏多發(fā)生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發(fā)現疑點，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內漏。

真空蒸發(fā)鍍膜設備主要用于在經予處理的塑料、陶瓷等制品表面蒸鍍金屬薄膜（鍍鋁、鉻、錫、不銹鋼等金屬）、七彩膜仿金膜等,從而獲得光亮、美觀、的塑料,陶瓷表面金屬化制品。廣泛應用于工藝美術、裝璜裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、女式鞋后跟等領域,
JTPZ多功能鍍膜技術及設備（加有射頻等離子體聚合的蒸發(fā)鍍膜機），針對汽車、摩托車燈具而設計的，在一個真空室內完成蒸發(fā)鍍鋁和射頻等離子體鍍保護膜，這種鍍膜后燈具具有“三防”功能。射頻等離子體聚合膜還應用于光學產品、磁記錄介質、軍事保護膜；防潮增透膜；防銹抗腐蝕；耐磨增硬膜。

直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM)，這種儀器可以直接驅動蒸發(fā)源，通過PID控制循環(huán)驅動擋板，保持蒸發(fā)速率。只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接，它就可以控制整個的鍍膜過程。但是(QCM)的度是有限的，部分原因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質量而不是其光學厚度。
? ? 此外雖然QCM在較低溫度下非常穩(wěn)定，但溫度較高時，它會變得對溫度非常敏感。在長時間的加熱過程中，很難阻止傳感器跌入這個敏感區(qū)域，從而對膜層造成重大誤差。
? ? 光學監(jiān)控是高精密鍍膜的的監(jiān)控方式，這是因為它可以更地控制膜層厚度(如果運用得當)。度的改進源于很多因素,但根本的原因是對光學厚度的監(jiān)控。
? ? OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監(jiān)控系統(tǒng)，是采用間接測控，結合汪博士開發(fā)的光學監(jiān)控軟件，有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和方法來減少誤差，提供了反饋或傳輸的選擇模式和大范圍的監(jiān)測波長。特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。