優(yōu)點
1.外觀純白色。

2.耐高低溫性：可使用溫度-200℃～＋250℃。

3.耐腐蝕：耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、王水和各種有機(jī)溶劑，且無溶出、吸附和析出現(xiàn)象。

4.防污染：金屬元素空白值低。

5.絕緣性：不受環(huán)境及頻率的影響，介質(zhì)損耗小，擊穿電壓高。

6.耐大氣老化，耐輻照和較低的滲透性。

7.自潤滑性：具有塑料中小的摩擦系數(shù)。

8.表面不粘性：是一種表面能小的固體材料。

大直徑晶片的清洗采用上述方法不好其清洗過程的完成，通常采用單晶片清洗法，其清洗過程是在室溫下重復(fù)利用DI-O 3/DHF清洗液，臭氧化的DI水（DI-O3 ）產(chǎn)生氧化硅，稀釋的HF蝕刻氧化硅，同時清除顆粒和金屬污染物。根據(jù)蝕刻和氧化的要求采用較短的噴淋時間就可獲得好的清洗效果，不會發(fā)生交叉污染。后沖洗不是采用DI水就是采用臭氧化DI水。為了避免水漬，采用濃縮大量氮氣的異丙基乙醇（IPA）進(jìn)行干燥處理。單晶片清洗具有或者比改良的RCA清洗更好的清洗效果，清洗過程中通過采用DI水及HF的再循環(huán)利用，降低化學(xué)品的消耗量，提高晶片成本效益。

PTFE材料具有固體材料中小的表面張力，不粘附任何物質(zhì)，同時還具有耐高低溫優(yōu)良的特性，從而使其在諸如制造不粘鍋的防粘方面的應(yīng)用非常廣泛。其防粘工藝主要包括兩種：把PTFE部件或薄片安裝在基體上，以及把PTFE涂層或與玻璃復(fù)合的漆布經(jīng)過熱收縮而套在基材上。