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單晶爐熱場的設計與仿真單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉速，坩堝跟蹤速度與轉速，保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內在質量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場，不僅單晶生長順利，而且品質較高；如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質量，情況嚴重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。

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而石墨加熱器作為加熱系統(tǒng)的核心部件,通過自身發(fā)熱作為整個熱場的熱量來源,因此也是整個熱場中為核心的部件。而加熱器的設計需要綜合考慮熱學、力學、電學、機械等各個領域內的知識,比較復雜,因此很多使用的加熱器都存在種種先天缺陷,造成使用時發(fā)熱不足、打火、變形過大、壽命過短等問題。下文將從加熱器的使用要求入手,分析加熱器的設計。2加熱器的工作原理與使用要求分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，除塵器內的空間由圓柱容器經(jīng)上、下蓋密封形成，整個空間分成兩大區(qū)域：除塵區(qū)域和排氣區(qū)域。含塵氣流由切線進氣口進入除塵區(qū)域，沿外壁由下而上螺旋形旋轉運動。氣流作旋轉運動時，塵粒在慣性離心力的推動下，要向圓柱容器內壁移動。到達內壁的塵粒在氣流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。這種情況，離心力是除塵器的主要作用力，塵粒與氣流分離界面是圓柱容器的內壁。還有，圓柱容器內設置內外兩層金屬網(wǎng)，內層金屬網(wǎng)纏繞于內側的6 根金屬桿上。外層金屬網(wǎng)纏繞于外側的8 根金屬桿上。這14 根金屬桿被固定在上盤和盤上。它們固聯(lián)于圓柱容器上法蘭。圓柱容器設置的排氣筒是排氣區(qū)域。