在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜功用的一個重要因素。因此,當點評某薄膜樣品的功用時,需求檢測該薄膜樣品不同厚度下的功用。對于真空鍍膜的情形,這往往需求進行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:,不同次生長的樣品,儀器的狀況不同,以至于影響薄膜樣品功用的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜試驗裝取樣品需求重新進行真空的獲得,十分耗時。增加了出產(chǎn)和檢測的本錢。
多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng),由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。
PETP聚對苯二甲酸乙二醇醋,簡稱聚酯,是繼ABS后又一種滿意三種條件的塑料,所鍍的膜層具有很好的拉伸強度,耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度,真空鍍膜的習慣性也好,無色無味,耐酸堿性,是一種十分好的絕緣資料,不過由于容易脆裂,所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進行真空鍍膜,機械功能和抗沖擊性也好,但價格相對來說比較高,并且在成型時如果控制欠好,容易發(fā)生開裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮,遮光和隔熱功能也十分好,能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。
聚乙烯由于真空鍍膜習慣差,但經(jīng)過改造后仍是能夠用于真空鍍膜的,但只能出產(chǎn)等級低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品,聚丙烯比聚乙烯受熱更穩(wěn)定,并且十分輕,所以其利用價值比較高,不過聚丙烯與膜層的結(jié)合性比較差,所以表面處理后才能進行鍍膜,膜層作裝飾作為,使產(chǎn)品更漂亮。
與傳統(tǒng)的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發(fā)
其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華,蒸發(fā)的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,所以具有兩者的工藝特點。在真空條件下,工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過氣體放電被部分電離,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進行連續(xù)鍍膜的技術(shù),以實現(xiàn)柔性基板的某些功能性和裝飾性。
檢查泄漏情況是真空鍍鈦機真空度的一種檢查方法,簡稱檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用,因此檢漏是的。通常情況下,真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統(tǒng)抽氣時,真空室內(nèi)壓力降低。內(nèi)外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室,造成真空度降低。